惟：1.同“唯”。2.思想；思考3.文言助词。常用在年、月、日之前
灵：有七个基本含义：1.有效验；2.聪明，不呆滞；3.敏捷的心理活动；4.精神；5.旧时称神或关于神仙的；6.反映敏捷，活动迅速；7.关于死人的。
之：《说文解字》：“之，出也。象艸过屮，枝茎益大，有所之。一者，地也。凡之之属皆从之，止而切。”段《注》：“引申之义为往，《释诂》：‘之往是也。’按：之有训为‘此’者。
往：意为从这个地方走向目的地。
之往：1、去；到。《后汉书·羊续传》：“其所之往，輒迎致礼敬，厚加赠赂。”
郊庙歌辞·五郊乐章·送神（佚名）
送乐张音，惟灵之往。