省：本义指查看、观察，与“眚”同源，读xǐng，引申为检查。又引申为探望、问候。还引申为觉悟、明白。省又读作shěng，意指减少。引申指除去、消除，又引申为节约。省用作名词时，指一些禁止人们出入的地方，后又引申为官署名称，又引申指地方行政区域。
躬：是形声兼会意字，由“身”和“弓（像弯曲的身体）”两部分组成，躬也表声。躬的本意指身体，多指自身。另外，躬还有亲自、弯下身子的意思。
既：已经：既已如此；既得利益；既往不咎。甲金文「既」会人跪坐於食器前，吃饱饭，转过头来，本义是食毕，引申指完成、已经。
跼：屈曲不舒展。
蹐：小步
省躬：1、反躬自省。唐元稹《春六十韵》：“僶俛还移步，持疑又省躬。”唐杨於陵《郡斋有紫薇双本予嘉其美而能久因诗纪述》：“省躬既跼蹐，结思多烦紆。”《清史稿·世祖纪论》：“﹝帝﹞虽景命不融，而丕基已巩。至於弥留之际，省躬自责，布告臣民。禹汤罪己，不啻过之。”
跼蹐：局促不安。
郡斋有紫薇双本自朱明接于徂暑其花芳馥…因诗纪述（杨於陵）
息驾万里途。省躬既跼蹐，结思多烦纡。簿领幸无事，宴休谁与娱。内斋有嘉树，双植分庭隅。绿叶下成幄，紫花纷